Der vorliegende Teil der ISO 14644 beschreibt die Klassifizierung der partikul\u00e4ren Oberfl\u00e4chenreinheit auf festen Oberfl\u00e4chen f\u00fcr Anwendungen in Reinr\u00e4umen und zugeh\u00f6rigen Reinraumbereichen. Empfehlungen zu Pr\u00fcf und Messverfahren sowie Angaben zu Oberfl\u00e4chenkenngr\u00f6\u00dfen sind in den informativen Anh\u00e4ngen enthalten. Dieser Teil der ISO 14644 gilt f\u00fcr alle festen Oberfl\u00e4chen in Reinr\u00e4umen und zugeh\u00f6rigen Reinraumbereichen, wie z. B. W\u00e4nde, Decken, Fu\u00dfb\u00f6den, Arbeitsbereiche, Werkzeuge, Ausr\u00fcstungsgegenst\u00e4nde und Ger\u00e4te. Die Klassifizierung der Partikelreinheit der Oberfl\u00e4che (en: surface particle cleanliness, SPC) ist auf Partikel mit einer Gr\u00f6\u00dfe zwischen 0,05 \u00b5m und 500 \u00b5m begrenzt. Folgende Aspekte werden in der vorliegenden Norm nicht betrachtet: – Anforderungen an die Reinheit und Eignung von Oberfl\u00e4chen f\u00fcr bestimmte Prozesse; – Verfahrensweisen f\u00fcr die Reinigung von Oberfl\u00e4chen; – Materialkenngr\u00f6\u00dfen; – weitere Kenngr\u00f6\u00dfen von Partikeln, wie z. B. elektrostatische Ladung, Ionenladungen, biologischer Zustand und weitere. Der vorliegende Teil der ISO 14644 deckt das Klassifizierungssystem der partikul\u00e4ren Kontamination von Oberfl\u00e4chen ab, nimmt jedoch keinen Bezug auf die wechselseitigen Bindungskr\u00e4fte oder Entstehungsprozesse, die \u00fcblicherweise zeitabh\u00e4ngig (wie z. B. Ablagerung, Sedimentation, Alterung) und prozessabh\u00e4ngig (wie z. B. Transport oder Handhabung) sind. Messverfahren f\u00fcr die Klassifizierung sollten hinsichtlich der Oberfl\u00e4chenkenngr\u00f6\u00dfen (z. B. Porosit\u00e4t, Rauheit, elektrostatische Ladung, Oberfl\u00e4chenenergie) angepasst werden. Die Oberfl\u00e4chenreinheit ist neben weiteren Faktoren von den Material und Gestaltungskenngr\u00f6\u00dfen, Beanspruchungslasten (Komplexit\u00e4t der auf eine Oberfl\u00e4che wirkenden Lasten) und vorherrschenden Umgebungsbedingungen abh\u00e4ngig. Aufgrund der Komplexit\u00e4t der statistischen Bewertungen und der verf\u00fcgbaren Literatur sind die Auswahl und Anwendung statistischer Klassifizierungs und Pr\u00fcfverfahren nicht in diesem Teil der ISO 14644 beschrieben.*Inhaltsverzeichnis<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Reinr\u00e4ume und zugeh\u00f6rige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der partikul\u00e4ren Oberfl\u00e4chenreinheit<\/b><\/p>\n\n\n
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