DIN EN ISO 25178-603:2014 Edition
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Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Flächenhaft – Teil 603: Merkmale von berührungslos messenden Geräten (phasenschiebende interferometrische Mikroskopie)
Published By | Publication Date | Number of Pages |
DIN | 2014-02 | 34 |
Dieser Teil der ISO 25178 legt die metrologischen Eigenschaften von Messgeräten der phasenschiebenden interferometrischen (PSI ) Mikroskopie zur Messung von Oberflächenprofilen und zur flächenhaften Messung der Oberflächenbeschaffenheit fest.*Inhaltsverzeichnis